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电子净化车间的特点及装修注意事项

文章来源:人气:发表时间:2020-10-9 13:43:25

电子厂净化车间等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外电子厂净化车间对静电要求严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内易产生静电,造成CMOS集成损坏。一般来说,电子厂净化车间的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。 这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒服。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子厂净化车间的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。

电子净化车间装修的注意事项:

一、净化原理

气流→初效净化→加湿段→加热段→表冷段→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒→回风百叶窗→初效净化重复以上过程,即可达到净化车间目的。

二、物流

1.工厂装修物料净化用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。

2.洁净室内的设备和物料出入口,应独立设置,并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应的物净设施。

三、人流

1.人员净化

2.工厂装修洁净室入口宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时,应设气闸室。

3.空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室,宜设气闸室。

4.空气吹淋室的进、出门不得同时开启,应采取连锁控制措施。

5.单人空气吹淋室,应按较大班人数30人设一台。洁净室人员超过5人时,空气吹淋室一侧应设单向旁通门。

四、静压差

1.不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa。

2.工厂装修洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa。

3.洁净室与室外的静压差应大于10Pa。

五、净化参数:

1.压差:主车间对相邻房间≥5Pa平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s。

2.湿度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。

3.换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。

4.温度冬季>16℃;夏季<26℃;波动±2℃。

六、结构材料:

1.地坪:可采用2mm/3mm环氧树脂或是PVC地坪,电子厂房选用防静电地坪。

2.送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。

3.工厂装修净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板,其特点为美观、刚性强。

4.送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。