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电子无尘车间的使用要求

文章来源:人气:发表时间:2022-2-23 9:14:01

电子无尘车间生产的产品都是很精细的东西,一个小的灰尘就会让这个电子器件短路或者直接报废的,所以电子厂跟半导体厂都是要求做电子无尘车间的,还需要恒温恒湿的状态。

电子行业对于电子无尘车间的要求:无尘车间也叫洁净厂房、洁净室、无尘室,电子无尘工厂生产工艺有集成电路等分类众多。由于电子无尘车间生产工艺种类繁多,对洁净度等级要求也不同,高的很高,低的很低;对粒子粒径控制的要求也不同,范围约为0.1-5um;对温湿度控制的要求相对较高,如集成电路前道工序一般要求室内温度基数为22℃(精度±0.1至±1℃),相对湿度基数为40%(精度±2至±5℃);正压值要求的梯度级别,随着洁净度的变化而从高到低变化,差值5-10Pa。

电子无尘车间的冷负荷比其他行业的无尘车间大很多,单位冷负荷达400-500W/㎡很常见。由于冷负荷大,一般情况下,冬季也需要供冷,这是电子行业的特点。

电子行业电子无尘厂房生产工艺有抗静电、抗微振的要求,并且大宗气体和特种气体种类多,对纯度和洁净度要求也是很高的。