洁净室建设检测要求

温湿度

洁净室或洁净设施温、湿度测定，通常分为两个档次：一般测试和综合测试。

一个档次适用于处于空态的交竣验收测试。

二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。

本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时，空调系统已经充分运转，各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器，并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的，待传感器稳定之后才开始测量，测量时间不少于5分钟。

这项检测的目的是验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力。这项检测适用于所有3种占用状态。需要定期进行这项检测。

压差的测试应在所有的门都关闭的条件下，由高压向低压、由平面布置上与外界较远的里间房间开始，依次向外测试；有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室（区），其洞口处宜有合理的气流流向等等。

压差检测要求

1.静压差的测定要求在洁净区内的所有门全部关闭情况下进行。

2.在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。

3.测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可，测管口面与气流流线平行。

4.所测量记录的数据应到1.0Pa。

压差检测步骤：

1.先关闭所有的门。

2.用微差压计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。

3.记录所有数据。

压差标准要求：

按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。

1.不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室（区）之间的静压差，应不小于5Pa。

2.洁净室（区）与室外的静压差，不应小于 10Pa。

3.对于空气洁净度等级严于 5级（100级）的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。

4.若达不到以上标准的要求，应重新调整新风量、排风量、至合格为止。